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XRMR2020A 热电堆专用 MEMS
产品名称:XRMR2020A 热电堆专用 MEMS
应用领域:  军工航天:武器装备动力系统和液压控制分系统中,监测和控制系统运行状态,进而保障武器装备运行的安全性、机动性和准确性。工业自动化控制:水利、石化、锅炉、管道、反应釜、井下压力测量和控制。汽车领域:轮胎、发动机歧管、刹车等系统的压力测量和控制。空调行业:压缩机高压和低压测量,利用压力控制实现智能控温和噪声等性能优化等。医疗行业:血压计。
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产品特点:

  该产品基于IC集成电路平面工艺和MEMS微机械加工工艺的融合,可适应多种受压方式,采用无介质硬封受压结构,低应力匹配玻璃绝缘衬底。

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